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產品應用:該電爐采用紅外燈管加熱,通過滑動爐體實現快速降溫。應用于半導體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗 。
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